第820章 「离婚」又来对手？（1/2）

温寧克刚刚举起自己的手，屏幕上跳出参数：

波长13.5纳米。

数值孔径0.33。

套刻精度优於3纳米。

晶圆吞吐量每小时140片。

“这不是ppt，而是真正的量產，第一台量產型euv光刻机，將於今年年底交付。”

全场起立鼓掌。

这个消息犹如一道曙光，瞬间传遍了全球。

euv光刻机的突破意味著晶片製造终於可以摆脱多重曝光的痛苦。

以前用193纳米波长的深紫外光刻10纳米以下的晶片，需要反覆曝光四次、五次甚至六次。

良率低、成本高、周期长。

而euv直接用13.5纳米的极紫外光，一次曝光就能刻出7纳米甚至更精密的电路。

这是半导体行业的圣杯，如今阿斯迈尔拿到了它

虽然不知道华星的7nm是怎样实现的，但如今阿斯麦尔有了更好的选择。

消息传到首尔，李在鎔一个人在办公室里坐了很久。

euv突破，对s-t来说不是好消息。

至少，不是他们想听到的那种好消息。

因为这意味著，先进位程的竞爭將从“抱团取暖”重新回到“单打独斗”的轨道。

谁能买到第一台euv，谁就能在7纳米节点上抢跑。

而s-t內部的资源爭夺战已经打得不可开交。

如果euv的订单只能满足一家，这或许是他们分家的一个关键点。

李在荣不敢想像那个答案揭晓时的场面。

果然，第二天的董事会上，s-t彻底失控了。

三桑系提出：三星在euv研发上投入了超过三十亿欧元，是阿斯麦的核心合作伙伴之一，第一台euv应该优先分配给原三桑的產线。

也就是说这台光刻机，必须要运到泡菜国。

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台积电系反驳：台积电的先进封装技术全球第一，euv必须搭配先进封装才能发挥全部威力，第一台euv应该放在台岛。

双方爭执不下。

李在荣试图调停，表示这个事情也不是不可以协商，但话还没说完，就被台积电的独立董事打断了。

“李会长，恕我直言。”施振荣推掉了不少工作，专程参加这场会，“这一年的合作，已经证明了一件事。

三桑和台积电的文化，根本不可能融合。

再拖下去，只会把两家都拖死。”

李在荣看著他，果然听到了这个最不愿意听到的答案，但他还想再坚持一下。

“施董的意思是……”

“与其一起沉船，不如各自求生。”

会议室里，所有的爭吵都停了。

双方的人互相看了看，没有人反对。

因为在场的每一个人，心里都清楚，这艘船，从一开始就漏了水。

他们拼命舀了几个月，水不但没少，反而越来越多。

“表决吧。”刘德音在安静的会议室说出了决定，“s-t半导体，解散。

三桑半导体和台积电各自回归独立运营。

资產按出资比例分割，专利授权各回各家，產线在三个月內完成拆分。”

李在荣闭上眼睛。